1. 目的：為規範潔淨區塵埃粒子檢測標準操作規程。
2. 範圍：適用於潔淨區塵埃粒子檢測的操作。
3. 責任：qa潔淨度監測人員。
4. 程式：
4.1概述：潔淨區懸浮粒子監測採用計數濃度法，既通過測定潔淨區環境內單位體積空氣中
含大於或等於某粒徑的懸浮粒子數，來評定潔淨室（或潔淨區）的懸浮粒子潔淨度等級。
4.2儀器：y09-9型雷射塵埃粒子計數器。
4.3監測原理：空氣中懸浮粒子在光的照射下產生光散射現象，散射光的強度與粒子的表面
積成正比。
4.4.1 測試規則
4.4.1.1 潔淨室（區）的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應（溫度控制在18℃～
26℃，相對濕度控制在45%～65%之間為宜）。
4.4.1.
2 壓差：空氣潔淨度不同的潔淨室（潔淨區）之間的壓差應≤5 pa ，空氣潔淨度級別要求高的潔淨室（潔淨區）對相鄰的空氣潔淨度級別低的潔淨室（潔淨區）一般呈相對正壓。
4.4.2 測試狀態
4.4.2.1 靜態測試和動態測試
靜態測試時，室內測試人員不得多於2人。測試報告見廠房潔淨度懸浮粒子監測記錄表。
動態測試指潔淨室已處於正常狀態下的測試。
4.4.3 測試時間
測試應在淨化空氣調節系統正常執行時間不少於30min後開始。
4.4.4 懸浮粒子計數
4.4.4.1 取樣點數目及其布置
最少取樣點數目，懸浮粒子潔淨度測試的最少取樣點數目見下表1。
表 1 最少取樣點數目
4.4.4.1.1 取樣點的位置
a) 取樣點一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置。
b) 取樣點多於5點時，也可以在離地面0.8m—1.5m高度的區域內分層布置，但每層不少
於5點。
c) 取樣點的布置還可根據需要在生產及工藝關鍵操作區增加取樣點。
4.4.4.2 對任何小潔淨室或區域性空氣淨化區域，取樣點的數目不得少於2個，總取樣次數不
得少於5次。每個取樣點的取樣次數可以多於1次，且不同取樣點的取樣次數可以不同。
4.4.4.3 取樣量：不同潔淨度級別每次最小的取樣量見表2。
表2 每次最小取樣量
4.4.4.4 取樣注意事項：
a) 取樣管口宜向上。
b) 布置取樣點時，應避開回風口。
c) 取樣時，測試人員應在取樣口的下風側。
4.5.1 結果計算
懸浮粒子濃度的取樣資料應按下述步驟作統計計算：
4.5.1.1 取樣點的粒子濃度
1） 式中：c1———某一取樣點的粒子濃度，粒/m3；
c0———某一取樣點的粒子濃度（儀器讀數），粒/l；
4.5.1.2 取樣點的平均粒子濃度
2） 式中：a———某一取樣點的平均粒子濃度，粒/m3；
ci———某一取樣點的粒子濃度（i=1，2，…，n），粒/m3；
n———某一取樣點上的取樣次數，次。
4.5.1.3 平均值的均值
3） 式中：m———平均值的均值，即潔淨室（區）的平均粒子濃度，粒/m3；
ai———某一取樣點的平均粒子濃度（i=1，2，…，l），粒/m3；
l———某一潔淨室（區）內的總取樣點數，個。
4.6 結果評定
判斷懸浮粒子潔淨度級別應依據下述條件：
4.6.1 潔淨室（區）空氣潔淨度級別表
4.6.2 每個取樣點的平均粒子濃度必須低於或等於規定的級別界限，即ai≤級別界限。
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