PECVD問題總結

2022-06-25 11:00:02 字數 484 閱讀 4866

氮化矽膜表面有異物

原因:進料腔工藝腔內有異物,加熱後分解到矽片表面,汙染了矽片表面。石英管冷卻不好,表面纏繞的膠帶受熱分解汙染了矽片表面。

解決方法:當發現鍍膜後的矽片表面有汙染物時,先要排除是前段造成的汙染。然後檢查石英管風冷情況,若發現石英管的排風口風量很小或沒有風,就要請裝置進行維修。

最後將工藝腔和進料腔開啟,看是否有塑料類廢棄物掉在腔體內,造成了汙染,若有將其清理乾淨即可。

鍍膜偏紅

原因:偏紅是氮化矽的厚度偏薄,是由於沉積的時間過短或微波功率偏小所致。

解決方法:將傳輸速度減小,傳輸速度每減小1cm/min膜厚就會增加0.8nm左右。或者增加微波源兩側的微波功率。通常我們使用第一種方法。

鍍膜偏白

原因:偏白是氮化矽的厚度偏厚,是由於沉積的時間過長或微波功率偏大所致。

解決方法:將傳輸速度加快,傳輸速度每增加1cm/min膜厚就會減小0.8nm左右。或者減小微波源兩側的微波功率。通常我們使用第一種方法。

會務問題總結

通知發放後反饋不夠 參會單位沒有按有關程式向領導請假,沒有按會議通知指定人員派出參會人員,隨意代會。各與會人員如有特殊情況不能參會的,要根據有關規定向有關領導書面 口頭 請假,並及時反饋會務組,會務組對到會情況及時督查並發出通報。對於需多天召開的會議,隨行工作人員要在會議間歇期間及時摸排有無請假人員...

總結鋼筋問題

1.11g101 1中框架柱嵌固部位。如何確定?自己理解 當圖紙中沒有註明基礎頂為嵌固部位時,1f為嵌固部位 基礎頂為非嵌固部位。疑問 基礎頂什麼情況下也作為嵌固部位?2.頂板負筋分布筋與受力主筋,構造筋的搭接長度為150 當分布筋兼做抗溫度筋時,搭接長度為ll.現場做法 搭接為300。但現在並不能...

軍訓問題總結

全程 攝像和拍攝工作安排不到位,時間掌控出現較大問題 具體問題 1 分班 在分班的時候沒有把同一部門人員分開,導致很多相同部門的人被分在同乙個班級,該問題主要是沒有和教官溝通好。2 破冰遊戲沒有做。3 班級文化建設 事先沒有規範班級文化建設版面的格式,導致各班班級文化參差不齊。4 環節 的剪輯不行,...